HVVJH—2000型阳极键合【静电键合】设备

用于某些同质或者异质的材料晶片之间的静电键合。可适用于硅、半导体材料、化合物半导体材料、硅化物材料、玻璃等能够实现键合加工的“光电子”及“MEMS”等工艺领域。